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專業(yè)提供自動光學(xué)檢測設(shè)備(AOI)、錫膏檢測儀(SPI)、
  自動焊接機器人及鐳射激光設(shè)備的高新技術(shù)企業(yè)

半導(dǎo)體精細(xì)線路檢測


基于矢量算法及AI視覺檢測技術(shù)的高端視覺檢測設(shè)備,解決半導(dǎo)體芯片受生產(chǎn)和工藝技能局限而存在質(zhì)量問題

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關(guān)鍵參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)2.5μm高解析度對圖像進行精密檢測,可選配更高解析精度

采用2500萬像素工業(yè)相機,同時有3100萬像素,6500萬像素,1.5億像素可選

可檢測LTCC、鐵氧體、高頻疊片式陶瓷電感,晶圓類,SIP封裝類等半導(dǎo)體材料外觀檢測

視覺檢測系統(tǒng)支持離線編程,在線調(diào)試,AI智能復(fù)判

NG/OK自動分揀,全自動鐳射剔廢

AOI檢測

大理石龍門架構(gòu)設(shè)計,配置高精度直線電機模組,保證X,Y軸的運行精度,最高精度±1μm

2500萬像素工業(yè)相機,高分辨率遠(yuǎn)心鏡頭,0.2~2.5μm/pixel高解析度可選

單張料片檢測CT<30秒@200*200mm,CCD高度可自動調(diào)整范圍±5mm

可檢測有效面積50*50~400*300mm,并輸出OK,NG,TBC(超出設(shè)定的不良數(shù)量一定比例值為待確認(rèn)區(qū), 該產(chǎn)品將由機械手將其抓取并放置到鐳切模組執(zhí)行鐳切)

可檢測各類外觀缺陷如斷線、毛刺、針孔、異物、缺口、長度、寬度、面積、異形等

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軟件算法

自主知識產(chǎn)權(quán)的光學(xué)檢測軟件系統(tǒng),基于矢量分析算法規(guī)則,融合邏輯或運算,亮度極差,亮度變化最小跨度,AI深度學(xué)習(xí)等三十多種先進檢測算法,應(yīng)對各種復(fù)雜線路以及半導(dǎo)體零件檢測

支持SPC統(tǒng)計分析功能,支持各種生產(chǎn)智能執(zhí)行系統(tǒng)SFC / MES對接

支持AI智能復(fù)判功能

支持離線編程&在線不停機調(diào)試功能

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檢測不良

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激光鐳切

圖像識別系統(tǒng)檢測完成的產(chǎn)品自動執(zhí)行判斷:

測試無缺陷的產(chǎn)品由下料模組自動將產(chǎn)品抓取到OK料盒

測試超出缺陷數(shù)量或者一定百分比的產(chǎn)品由下料模組自動將產(chǎn)品抓取到NG料盒

測試缺陷數(shù)量或者百分比在可控范圍內(nèi)的由下料模組自動將產(chǎn)品抓取到鐳切區(qū)域,執(zhí)行自動鐳切

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應(yīng)用領(lǐng)域

 

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晶圓

 

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SIP封裝

在線詢單

0755-61519009/29545697

 
      
視覺系統(tǒng) 相機 25Mp 31Mp 65Mp 150Mp
鏡頭     高分辨率遠(yuǎn)心工業(yè)鏡頭
分辨率  2.5μm  2.5μm  1.5μm/2.5μm  0.7μm/1μm/1.5μm
光源     單色光/多色塔型光/背光
平臺     多工位微孔陶瓷平臺
 激光器 10W紫外納秒/15W紫外納秒/15W紫外皮秒
 
 
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